ウエハを素手で触ってはいけない主な理由はどれか。

正解：A. 皮脂や汗に含まれるナトリウムなどがウエハを汚染し、素子の特性や信頼性を損なうため

手の皮脂や汗には有機物や、ナトリウムなどのアルカリ金属が含まれます。ナトリウムは酸化膜の中を動く可動イオンとなってトランジスタのしきい値電圧を変動させ、有機物は成膜や接合の不良の原因になります。そのためウエハは専用の手袋やピンセット、搬送ロボットなどで扱います。

• A. 正しい。皮脂や汗の成分が汚染源になります。
• B. 体温でシリコンが溶けることはありません。
• C. 指紋で結晶方位が変わることはありません。