什麼是MCZ法(磁場施加CZ法)

在CZ法中對坩堝施加磁場以抑制熔融液對流的方法。較易控制晶體中融入的氧濃度,用於大口徑晶體。

日文名稱: MCZ法(磁場印加CZ法)

「MCZ法(磁場施加CZ法)」出現在1領域的3道練習題中(矽晶圓等)。

這個名詞所屬的領域: 矽晶圓

練習MCZ法(磁場施加CZ法)的題目

以CZ法成長的矽晶體中,從坩堝較多地混入的雜質是哪一種?

  1. A金
  2. B氧
  3. C氦
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正確答案:B. 氧

CZ法是在石英(SiO2)坩堝中熔化矽,因此從坩堝溶出的氧會以約10¹⁸ cm⁻³的濃度進入晶體。氧具有固定差排而提高晶體機械強度的優點,熱處理所形成的析出物也能作為吸附位置,但過多則會造成缺陷與熱施體(thermal donor)。因此會以施加磁場抑制對流的MCZ法等控制其濃度,並依用途決定規格。

在CZ法中,對坩堝施加磁場以抑制熔液對流,進而控制氧濃度等的方法是哪一種?

  1. AFZ法
  2. BMCZ法(施加磁場的CZ法)
  3. C布里奇曼法
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正確答案:B. MCZ法(施加磁場的CZ法)

矽的熔液可導電,所以施加磁場時,流動的熔液會受到反方向的力(勞倫茲力)而抑制對流。在MCZ法中,藉此可以抑制從坩堝溶出的氧進入晶體,也能減少溫度波動而抑制成長條紋,提高晶體的均勻性。熔液多達數百kg的300 mm晶體對流劇烈,因此標準採用橫向磁場的MCZ法。

解析中的「MCZ法(磁場施加CZ法)」

出現「MCZ法(磁場施加CZ法)」的題目(3題)

  1. 以CZ法成長的矽晶體中,從坩堝較多地混入的雜質是哪一種?
  2. 在CZ法中,對坩堝施加磁場以抑制熔液對流,進而控制氧濃度等的方法是哪一種?
  3. 在CZ晶體中,因晶體成長界面溫度波動等所產生的摻雜物或氧濃度的週期性條紋狀變化,稱為什麼?

出現這個名詞的比較

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