シリコンウエハ

CZ法で育成したシリコン結晶に、るつぼから比較的多く取り込まれる不純物はどれか。

  1. A金
  2. B酸素
  3. Cヘリウム
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正解：B. 酸素

CZ法では石英(SiO2)のるつぼでシリコンを溶かすため、るつぼから溶け出した酸素が結晶に取り込まれます。酸素は結晶の機械的強度を高めたり、析出物がゲッタリングサイトとして働いたりする利点がある一方、量が多すぎると欠陥の原因になるため、濃度が制御されています。

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