MCZ法(磁場印加CZ法)란?
えむしーぜっとほう
CZ法で、るつぼに磁場をかけて融液の対流を抑える方法。結晶に取り込まれる酸素の濃度を制御しやすく、大口径の結晶で使われる。
일본어 명칭: MCZ法(磁場印加CZ法)
분야: 실리콘 웨이퍼
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관련 용어
結晶方位 酸素析出物(BMD) 偏析係数 CZ法(チョクラルスキー法) DZ(無欠陥層) FZ法(フローティングゾーン法) SOIウエハ インゴット ウエハのノッチ ゲッタリング
えむしーぜっとほう
CZ法で、るつぼに磁場をかけて融液の対流を抑える方法。結晶に取り込まれる酸素の濃度を制御しやすく、大口径の結晶で使われる。
일본어 명칭: MCZ法(磁場印加CZ法)
분야: 실리콘 웨이퍼
結晶方位 酸素析出物(BMD) 偏析係数 CZ法(チョクラルスキー法) DZ(無欠陥層) FZ法(フローティングゾーン法) SOIウエハ インゴット ウエハのノッチ ゲッタリング