CZ結晶で、結晶の成長界面の温度のゆらぎなどによって生じる、ドーパントや酸素の濃度の周期的な縞状の変化を何と呼ぶか。

正解：A. ストリエーション(成長縞)

結晶を回転させながら引き上げると、融液の対流や温度のゆらぎによって、成長界面での不純物の取り込み量が周期的に変わります。その結果、ドーパントや酸素の濃度が縞状に変化したストリエーションができ、抵抗率の微小なばらつきの原因になります。

• A. 正しい。周期的な濃度の縞状の変化です。
• B. ノッチはウエハの外周の切り欠きです。
• C. ファセットは結晶の平らな面のことです。