クリーンルーム・製造装置

クリーンルームの空調で、取り入れた外気を除じんし、温度と湿度を調整してから室内の循環空気に供給する装置はどれか。

  1. Aロードポート
  2. Bスクラバー
  3. C外気処理空調機(外調機、MAU)
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正解：C. 外気処理空調機(外調機、MAU)

クリーンルームは陽圧の維持や排気の補給のために外気を取り入れますが、外気は季節によって温度や湿度が大きく変わり、汚れも含みます。外気処理空調機でこれを前処理しておき、室内では循環空気をFFUなどで清浄化しながら細かく温度を調整する、という分担が一般的です。

  • A. ロードポートはFOUPを置いて装置に受け渡す部分です。
  • B. スクラバーは排ガスを洗浄する装置です。
  • C. 正しい。外気をまとめて前処理します。
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