イオン注入で、ウエハ面内のドーズを均一にするための方法として正しいものはどれか。

正解：B. ビームやウエハを走査して、ウエハ全面に均一に当てる

イオンビームはウエハより小さいため、ビームを電場や磁場で振ったり、ウエハを機械的に動かしたりして、全面を走査しながら注入します。走査の速度や回数を制御することで、ウエハ面内のドーズのばらつきを小さくします。