一般的なイオン注入装置で、イオンが通る順序として正しいものはどれか。

正解：A. イオン源 → 質量分析 → 加速部 → 走査 → ウエハ

イオン源でガスをプラズマにしてイオンを取り出し、質量分析磁石で目的のイオンだけを選び、加速部で必要なエネルギーまで加速します。その後、ビームを走査してウエハ全面に均一に注入します(装置によって加速と分析の順序が異なる場合もあります)。

• A. 正しい。イオン源から始まり、選別・加速・走査を経てウエハに届きます。
• B. イオンをつくる前に加速することはできません。
• C. イオン源より前に質量分析はできません。