ファラデーカップ란?

ふぁらでーかっぷ

イオンビームを受けて流れる電流を測定する部品。イオン注入装置で、注入したイオンの量(ドーズ)を求めるのに使う。

일본어 명칭: ファラデーカップ

분야: 이온 주입