ウエハの欠陥検査装置で、パターンの像を直接見る明視野方式と比べた、散乱光だけを捉える暗視野方式の特徴として正しいものはどれか。

正解：A. 異物などからの散乱光を高い感度で検出でき、高速に広い範囲を検査しやすい

暗視野方式では、正反射した光を受けずに、異物や欠陥で散乱された光だけを捉えるため、背景が暗く小さな異物が明るく見え、高速に検査できます。明視野方式は、反射光でパターンの像を直接とらえ、パターンの形の欠陥の検出に優れます。目的に応じて使い分けます。

• A. 正しい。散乱光で異物を感度よく高速に検出できます。
• B. パターンの形の欠陥などでは明視野の方が優れることもあります。
• C. 暗視野は異物の検出に向いた方式です。