欠陥検査装置란?

けっかんけんさそうち

ウエハ上の異物やパターンの欠陥を見つける装置。光を当てたときの散乱光を検出する方式や、隣り合うダイの画像を比較する方式などがある。

일본어 명칭: 欠陥検査装置

분야: 계측과 분석