酸化・拡散

Deal-Groveモデルによると、熱酸化はどこで進むか。

  1. A酸化膜の最表面で、シリコン原子と酸化剤が反応する
  2. Bシリコン原子が酸化膜の表面まで拡散して反応する
  3. C酸化剤が酸化膜中を拡散し、Si/SiO2界面でシリコンと反応する
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正解：C. 酸化剤が酸化膜中を拡散し、Si/SiO2界面でシリコンと反応する

Deal-Groveモデルでは、酸化剤(O2やH2O)が酸化膜の表面に吸着し、酸化膜中を拡散して、シリコンとの界面で反応して新しい酸化膜ができると考えます。酸化膜が厚くなるほど拡散に時間がかかるため、成長は遅くなります。

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