酸化・拡散
熱酸化で酸化膜が十分厚くなったときの、酸化膜厚と酸化時間の関係として正しいものはどれか。
- A膜厚は時間の平方根にほぼ比例する(放物線則)
- B膜厚は時間の2乗に比例する
- C膜厚は時間に関係なく一定である
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正解：A. 膜厚は時間の平方根にほぼ比例する(放物線則)
Deal-Groveモデルによると、酸化膜が薄いうちは界面での反応が律速となり膜厚は時間にほぼ比例します(直線則)。膜が厚くなると酸化剤が膜中を拡散する過程が律速となり、膜厚は時間の平方根にほぼ比例します(放物線則)。厚くなるほど成長が遅くなります。