エッチング

SiO2のウェットエッチングに使われる、フッ酸をフッ化アンモニウムで緩衝した液はどれか。

  1. ASPM
  2. B熱リン酸
  3. Cバッファードフッ酸(BHF)
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正解：C. バッファードフッ酸(BHF)

バッファードフッ酸は、フッ酸にフッ化アンモニウムを加えてpHを安定させた液で、酸化膜のエッチング速度が液の消耗によって変わりにくく、レジストも剥がれにくいという特徴があります。酸化膜のパターニングなどに使われてきました。

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