配線プロセス

エレクトロマイグレーションによる配線の寿命を表すブラックの式で、寿命を短くする要因として正しいものはどれか。

  1. A配線を太くすること
  2. B電流密度が高いことと、温度が高いこと
  3. C温度を下げること
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正解:B. 電流密度が高いことと、温度が高いこと

ブラックの式では、平均故障時間が「電流密度のn乗に反比例し、exp(Ea/kT)に比例する」と表されます。電流密度が高いほど、また温度が高いほど寿命は短くなります。設計では、配線ごとに流してよい電流密度の上限が決められています。

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