信頼性
エレクトロマイグレーションの説明として正しいものはどれか。
- A湿気によって配線が腐食する現象
- B電流によって配線の金属原子が移動し、ボイドやヒロックが生じる現象
- C静電気放電によって素子が破壊される現象
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正解:B. 電流によって配線の金属原子が移動し、ボイドやヒロックが生じる現象
エレクトロマイグレーションは、配線を流れる電子が金属原子に衝突して運動量を与え、原子を少しずつ移動させる現象です。原子が抜けたところにボイド(空洞)ができて断線したり、たまったところにヒロック(突起)ができて隣の配線と短絡したりします。電流密度が高く、温度が高いほど起こりやすくなります。