表面の材料の違いを利用して、特定の場所だけに膜を成長させる技術はどれか。

正解：C. 領域選択成膜(エリアセレクティブデポジション)

領域選択成膜は、例えば金属の上には成膜し、絶縁膜の上には成膜しないといったように、下地の材料による反応のしやすさの違いを利用して、必要な場所だけに膜をつくる技術です。リソグラフィやエッチングの工程を減らせ、位置合わせのずれもないため、微細化の手段として研究が進んでいます。