成膜(CVD・PVD)

CVDで段差被覆性(コンフォーマル性)がよくなる条件として正しいものはどれか。

  1. A表面反応律速となる条件(比較的低温・低圧など)
  2. B原料ガスの供給が律速となる条件
  3. C原料ガスを一方向から高速で吹き付ける条件
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正解：A. 表面反応律速となる条件(比較的低温・低圧など)

表面反応律速の条件では、原料ガスが溝の奥まで十分に行き渡ってから表面で反応するため、場所による成膜速度の差が小さくなり、段差の側壁や底にも均一に成膜できます。供給律速の条件では、ガスが届きやすい開口部ほど厚く付きやすくなります。

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