박막 증착(CVD와 PVD)

실리콘 질화막(Si3N4)의 용도로 옳은 것은 무엇인가?

  1. A게이트 전극이나 배선의 주재료
  2. BLOCOS의 산화 마스크, CMP 스토퍼, 표면 보호막(패시베이션)
  3. C포토레지스트의 대용
정답과 해설 보기

정답: B. LOCOS의 산화 마스크, CMP 스토퍼, 표면 보호막(패시베이션)

실리콘 질화막은 산소, 수분, 나트륨 등의 이온을 잘 통과시키지 않고, 단단하며, 산화막과의 식각 선택비를 확보하기 쉬워 선택 산화(LOCOS)의 마스크, STI 형성 시의 CMP 스토퍼, 칩 표면을 보호하는 패시베이션막, 식각 스토퍼나 하드마스크, 게이트 사이드월, 자기 정렬 콘택트의 보호 등에 사용됩니다. 비유전율은 약 7로, 배선 간에는 별로 사용되지 않습니다.

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