成膜(CVD・PVD)

シランを熱分解してシリコン膜を堆積するとき、成膜温度を低くした場合にできる膜はどれか。

  1. A単結晶シリコン
  2. Bアモルファスシリコン
  3. C二酸化シリコン
答えと解説を見る

正解：B. アモルファスシリコン

シランの熱分解によるシリコン膜は、およそ580 ℃より低い温度ではアモルファス(非晶質)になり、それより高い温度では多結晶(ポリシリコン)になります。アモルファスで成膜してから熱処理で結晶化させ、結晶粒の大きな膜をつくることもあります。

この分野を解く 分野ページへ

成膜(CVD・PVD)のほかの問題

  1. ALDで成膜される代表的な材料の例として正しいものはどれか。
  2. スパッタした原子をイオン化し、ウエハにかけたバイアスで垂直に引き込むスパッタ方式の主な目的はどれか。
  3. 成膜やエッチングの装置で、ウエハを静電気力で台に固定する機構はどれか。
  4. 熱CVDでシリコン窒化膜(Si3N4)を成膜するときに使われる原料ガスの組み合わせとして正しいものはどれか。
  5. チタンのターゲットを窒素を含むガス中でスパッタし、窒化チタン(TiN)膜を形成する方法を何と呼ぶか。