Wat is Probe card?

Hulpstuk waarmee tal van naalden (probes) in contact worden gebracht met de elektroden van chips op de wafer en deze elektrisch met de tester worden verbonden.

Japanse benaming: プローブカード

“Probe card” komt voor in 5 oefenvragen uit 2 onderwerpen, bijv. Testen en inspectie, Packaging en montage.

Vakgebied: Testen en inspectie

Nu oefenen: vragen over Probe card

Welke beschrijving van de probe card is juist?

  1. AEen mal voor het afdichten van de chip
  2. BEen houder voor het transport van wafers
  3. CEen opspanning waarmee naalden in contact worden gebracht met de elektroden van de chips op de wafer en die de chip elektrisch met de tester verbindt
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: C. Een opspanning waarmee naalden in contact worden gebracht met de elektroden van de chips op de wafer en die de chip elektrisch met de tester verbindt

Een probe card is een productspecifieke opspanning waarin een groot aantal naalden is geplaatst volgens de indeling van de elektrodepads van de chip. De prober richt de wafer met een camera uit, tilt de chuck op zodat de naalden de pads raken, en verbindt zo de tester elektrisch met de chip. Naaldtypen zijn onder meer de cantilever-uitvoering met schuine naalden, de verticale uitvoering en de uitvoering die met MEMS-technologie wordt vervaardigd. Een afdichtingsmal of een transporthouder is iets anders.

Op welke plek op de chip worden de naalden van de probe card bij de wafertest in contact gebracht?

  1. AOp de gate van een transistor
  2. BOp de elektrodepads van de chip
  3. CAlleen op het midden van de achterzijde van de wafer
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: B. Op de elektrodepads van de chip

Bij de wafertest worden de vele naalden van de probe card in contact gebracht met elektrodepads, die bijvoorbeeld langs de rand van elke chip zijn geplaatst; de tester legt voeding en signalen aan en meet de respons. De pads zijn elektroden die ook voor latere wirebonding of bumpverbindingen worden gebruikt en hebben afmetingen van enkele tientallen µm in het vierkant. De grootte en positie van de naaldafdruk worden ook geïnspecteerd, zodat deze de verbinding niet hindert. Transistoren liggen onder de bedradingslagen en zijn niet rechtstreeks aan te raken.

“Probe card” in de toelichting

Vragen met “Probe card” (5)

  1. Welke beschrijving van de probe card is juist?
  2. Op welke plek op de chip worden de naalden van de probe card bij de wafertest in contact gebracht?
  3. Wat is het belangrijkste voordeel van de verticale uitvoering van de probe card, waarbij de naalden loodrecht ten opzichte van de pads zijn geplaatst?
  4. Hoe heet de metalen plaat die in de behuizing van een processor met veel warmteontwikkeling op de chip wordt geplaatst om de warmte te verspreiden?
  5. Welke beschrijving van de wafertest (probetest) is juist?

Verwante termen

MEMS Wafertest (probe test) Contact Leadframe Numerieke apertuur (NA) ATE (automatic test equipment) ATPG (automatic test pattern generation) BIST (built-in self-test) Burn-in DFT (design for testability)

Naar de woordenlijst