Geavanceerde transistoren (FinFET, GAA)
Welke factor die de prestaties beperkt, wordt belangrijker bij transistoren die steeds verder zijn verkleind?
- AParasitaire weerstand van source, drain en contacten en parasitaire capaciteit rond de gate
- BDe diameter van de wafer
- CDe kleur van de behuizing
Antwoord en toelichting tonen
Antwoord: A. Parasitaire weerstand van source, drain en contacten en parasitaire capaciteit rond de gate
Naarmate transistoren kleiner worden, neemt het aandeel van de weerstand van source, drain en contacten ten opzichte van de kanaalweerstand toe en bij geavanceerde generaties bedraagt dat soms bijna de helft van de aan-weerstand. Ook neemt de parasitaire capaciteit toe doordat de afstand tussen gate en contact is gekrompen tot enkele tientallen nm. Verbeteringen buiten het intrinsieke deel vormen daarom de kern van prestatieverbetering, zoals betere contactmaterialen, luchtspleten en spacers met lage diëlektrische constante en voeding via de achterzijde.
Verder: nog 9 vragen over Geavanceerde transistoren (FinFET, GAA)