コンタクト란?
こんたくと
トランジスタのソース・ドレインやゲートと、最下層の配線をつなぐ部分。絶縁膜にあけたコンタクトホールにタングステンなどを埋め込んでつくる。
일본어 명칭: コンタクト
분야: 배선 공정
こんたくと
トランジスタのソース・ドレインやゲートと、最下層の配線をつなぐ部分。絶縁膜にあけたコンタクトホールにタングステンなどを埋め込んでつくる。
일본어 명칭: コンタクト
분야: 배선 공정
多層配線 裏面電源供給 表皮効果 IRドロップ Low-k材料 MOL(ミドル・オブ・ライン) RC遅延 エアギャップ クロストーク シード層