Welke analysemethode laat atomen één voor één door een elektrisch veld van de punt van een naaldvormig monster verdampen, detecteert hun positie en soort, en onderzoekt zo de driedimensionale atoomverdeling van onder meer dopanten?

Antwoord: A. Atoomsonde-tomografie (atom probe tomography)

Bij atoomsonde-tomografie wordt op een monster dat met FIB tot een naald met een punt van ongeveer 100 nm is bewerkt een hoge spanning met pulsen gezet, zodat de atomen aan de punt één voor één als ionen wegvliegen. Uit de plaats waar ze de detector bereiken wordt de oorspronkelijke positie bepaald en uit de vliegtijd de massa (het soort element), waarmee de driedimensionale atoomverdeling wordt gereconstrueerd. De verdeling van dopanten in een transistor kan zo op atomair niveau worden onderzocht, maar de detectie-efficiëntie is niet 100%.