Nederlands
Menu

Metrologie en analyse

SIMS meet de concentratie van onzuiverheidsatomen. Welke methode meet daarentegen de diepteverdeling van de elektrisch actieve dragerconcentratie?

  1. AEDX
  2. BAtoomkrachtmicroscopie (AFM)
  3. CElektrische metingen zoals spreidingsweerstandsmeting (SRP)
Antwoord en toelichting tonen

Antwoord: C. Elektrische metingen zoals spreidingsweerstandsmeting (SRP)

Bij spreidingsweerstandsmeting wordt het monster onder een ondiepe hoek schuin gepolijst om de diepterichting uit te rekken, waarna twee naalden stap voor stap verschoven worden opgezet en de weerstand wordt gemeten, zodat de diepteverdeling van de dragerconcentratie wordt bepaald. SIMS meet de atoomconcentratie inclusief niet-geactiveerde onzuiverheden, zodat vergelijking van beide de activeringsfractie geeft. EDX onderzoekt elementen en AFM de vorm.

Dit onderwerp oefenen Naar de onderwerppagina

Meer vragen over Metrologie en analyse

  1. Hoe heet metrologie waarbij productwafers halverwege een proces in de productielijn worden gemeten om het proces te bewaken?
  2. Welke inspectie detecteert onder meer geleidingsdefecten van contacten met behulp van helderheidsverschillen door verschillen in oplading bij bestraling met een elektronenbundel?
  3. Welke methode voorkomt opladen (charge-up) bij het waarnemen van isolerende monsters met een SEM?
  4. Welke technologie wordt onderzocht en ingevoerd om de vorm van diepe gaten enz. driedimensionaal te meten zonder de doorsnede te vernietigen?
  5. Welke methode wordt gebruikt om de concentratie interstitieel zuurstof in silicium te meten?

Vergelijkingen bij dit onderwerp