Was ist EDX (energiedispersive Röntgenspektroskopie)?

Analyseverfahren, das die Energien charakteristischer Röntgenstrahlung unter einem Elektronenstrahl misst, um zu bestimmen, welche Elemente in welcher Menge vorhanden sind. Es wird mit REM oder TEM verwendet.

Japanische Bezeichnung: EDX(エネルギー分散型X線分光)

Fachgebiet: Messtechnik und Analyse

Verwandte Begriffe

AFM (Rasterkraftmikroskop) CD-SEM Defektinspektionssystem Ellipsometrie (ellipsometry) FIB (fokussierter Ionenstrahl) REM (Rasterelektronenmikroskop, SEM) SIMS (Sekundärionen-Massenspektrometrie) TEM (Transmissionselektronenmikroskop) TXRF (Totalreflexions-Röntgenfluoreszenzanalyse) Vierspitzenmethode (four-point probe method)

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