Techniek die metaalonzuiverheden in de wafer verzamelt en vastzet op een plek ver van het oppervlak waar de componenten worden gemaakt. Maakt gebruik van onder meer zuurstofprecipitaten.
Japanse benaming: ゲッタリング
“Gettering” komt voor in 4 oefenvragen uit 2 onderwerpen, bijv. Siliciumwafers, Metrologie en analyse.
Vakgebied: Siliciumwafers
Antwoord: B. Een techniek waarbij schadelijke metaalonzuiverheden worden ingevangen op een plek buiten het gebied waar de componenten worden gemaakt
Gettering is een techniek waarbij metaalonzuiverheden zoals ijzer, koper en nikkel, die de eigenschappen van componenten verslechteren, worden verzameld en ingevangen bij defecten in het binnenste of aan de achterzijde van de wafer, ver van het componentgebied aan het oppervlak. Metalen veroorzaken toenemende lekstroom en degradatie van het oxide, en al een geringe verontreiniging van circa 10¹⁰ atomen/cm² is problematisch. Er zijn intrinsieke gettering met zuurstofprecipitaten in de wafer en extrinsieke gettering, waarbij aan de achterzijde bewerkingsspanning of een polykristallijne laag wordt aangebracht.
Gettering is een techniek waarbij metaalonzuiverheden zoals ijzer, koper en nikkel, die de eigenschappen van componenten verslechteren, worden verzameld en ingevangen bij defecten in het binnenste of aan de achterzijde van de wafer, ver van het componentgebied aan het oppervlak.
Welke beschrijving van gettering is juist?De precipitaten en de omringende spanningen en dislocaties vangen metaalonzuiverheden in, zodat ze worden gebruikt voor intrinsieke gettering, waarbij metaalverontreiniging uit het componentgebied aan het oppervlak wordt weggehouden.
Wat is het juiste doel van het benutten van de kleine defec…Deze zuurstof precipiteert bij warmtebehandeling en helpt bij gettering en maakt de wafer sterker doordat dislocaties worden vastgezet, maar een te hoge concentratie veroorzaakt defecten en thermische donoren.
Welke waarde ligt het dichtst bij de gebruikelijke concentr…Zuurstof in CZ-wafers is nuttig voor gettering, maar te veel ervan veroorzaakt defecten door precipitatie, dus wordt de concentratie beheerst.
Welke methode wordt gebruikt om de concentratie interstitie…Zuurstofprecipitaten (BMD) Informatieverlies (absorptie) Czochralski-methode (CZ-methode) Thermische donoren EDX (energiedispersieve röntgenspectroscopie) DZ (denuded zone) Floating-zonemethode (FZ-methode) Ingot Kristaloriëntatie MCZ-methode (magnetic Czochralski)