Welke combinatie van verdelingsvormen is juist voor diffusie bij constant gehouden oppervlakteconcentratie (constante-oppervlakteconcentratiediffusie) en diffusie van een vaste hoeveelheid onzuiverheden (eindige-hoeveelheidsdiffusie)?

Antwoord: A. Constante oppervlakteconcentratie: complementaire foutfunctie (erfc)-verdeling, eindige hoeveelheid: Gauss-verdeling

Bij predepositie, waarbij de oppervlakteconcentratie constant wordt gehouden, heeft de verdeling de vorm van een complementaire foutfunctie (erfc) en neemt de ingebrachte hoeveelheid met de tijd toe. Bij drive-in, waarbij een ingebrachte vaste hoeveelheid wordt ingedreven, verspreidt de onzuiverheid zich terwijl de totale hoeveelheid gelijk blijft, en krijgt de verdeling een Gauss-vorm terwijl de oppervlakteconcentratie daalt. Door beide te combineren kunnen oppervlakteconcentratie en overgangsdiepte afzonderlijk worden ingesteld. Bij echte diffusie met hoge concentratie wijkt de verdeling af van deze ideale vormen.