Hoe heet bij thermische diffusie de stap waarmee onzuiverheden dieper worden gedreven na de stap waarbij een vaste hoeveelheid onzuiverheden aan het oppervlak wordt aangebracht?

Antwoord: C. Drive-in (indrijfdiffusie)

Thermische diffusie wordt vaak in twee stappen uitgevoerd: eerst brengt predepositie bij constant gehouden oppervlakteconcentratie een bepaalde hoeveelheid onzuiverheden ondiep aan, en daarna wordt bij drive-in de toevoer gestopt en verhit, zodat die hoeveelheid zich naar binnen verspreidt tot de gewenste diepte en verdeling. Tegenwoordig wordt gewoonlijk ionenimplantatie gebruikt, waarmee de hoeveelheid nauwkeurig kan worden bepaald, gevolgd door warmtebehandeling voor activering en bijstelling van de verdeling, maar bij onder meer zonnecellen en diepe diffusie voor vermogenscomponenten wordt het nog gebruikt.