클린룸과 장비

천장에 필터와 팬을 일체화하여 늘어놓고 청정 공기를 내보내는 장치는 무엇인가?

  1. AFFU(팬 필터 유닛)
  2. BEFEM
  3. COHT
정답과 해설 보기

정답: A. FFU(팬 필터 유닛)

FFU는 송풍 팬과 HEPA/ULPA 필터를 일체화한 유닛으로, 클린룸 천장에 다수 배치하여 청정 공기를 아래 방향으로 내보냅니다. 유닛별로 풍량을 조정할 수 있고 레이아웃 변경이나 부분적인 청정도 변경에도 대응하기 쉬워, 큰 덕트로 공기를 보내는 방식을 대신하여 널리 사용되고 있습니다. EFEM은 장비 전면 모듈, OHT는 천장 반송차입니다.

이 분야 연습하기 분야로 돌아가기

클린룸과 장비의 다른 문제

  1. 클린룸의 습도를 지나치게 낮추지 않도록 관리하는 이유의 하나로 올바른 것은 무엇인가?
  2. 클린룸 내부로의 반입이 엄격히 제한되는 것은 무엇인가?
  3. 반도체 공장에서 일반적인 장비 레이아웃의 개념으로 올바른 것은 무엇인가?
  4. FOUP 내부를 질소로 치환(퍼지)하는 주된 목적은 무엇인가?
  5. 200 mm 웨이퍼 시대에 보급된, 카세트를 밀폐된 포드에 넣어 장비에 전달하는 미니인바이런먼트 방식은 무엇인가?