클린룸과 장비
베이 방식 공장의 자동 반송에서, 베이와 베이 사이의 반송과 베이 안에서 장비 간을 잇는 반송의 명칭 조합으로 올바른 것은 무엇인가?
- A프런트엔드 반송과 백엔드 반송
- B인터베이 반송과 인트라베이 반송
- C웨트 반송과 드라이 반송
정답과 해설 보기
정답: B. 인터베이 반송과 인트라베이 반송
베이 방식에서는 스토커 등을 경유하여 떨어진 베이끼리 잇는 인터베이 반송과, 베이 안에서 장비끼리 또는 장비와 스토커를 잇는 인트라베이 반송을 조합해 왔습니다. 환승할 때마다 대기 시간이 생기므로, 최근의 300 mm 공장에서는 OHT가 양쪽을 일체로 담당하여 장비에서 장비로 직접 운반하는 방식도 널리 사용됩니다. 전공정·후공정의 구분과는 별개의 이야기입니다.
- A. 전공정·후공정의 구분과는 별개의 이야기입니다.
- B. 맞습니다. 베이 간이 인터베이, 베이 내가 인트라베이입니다.
- C. 반송의 구분으로 이런 명칭은 일반적이지 않습니다.