Opération qui abrase la surface du tampon de polissage CMP avec un outil diamanté pour la raviver, restaurer sa capacité à retenir la suspension et stabiliser la vitesse de polissage. Aussi appelée dressage.
Nom japonais: パッドコンディショニング
« Conditionnement du tampon (pad conditioning) » apparaît dans 1 questions d'entraînement réparties sur 1 thèmes, dont CMP et nettoyage.
Domaine: CMP et nettoyage
Réponse : C. Les grosses particules agglomérées dans la suspension ou les corps étrangers restés sur le tampon
Lorsque les particules abrasives de la suspension s'agglomèrent en amas de quelques µm sous l'effet du séchage ou de variations de température ou de pH, ou que des corps étrangers durs ou des éclats de diamant du conditionneur restent sur le tampon, ils rayent la surface de la plaquette. Ces rayures provoquent des courts-circuits ou des coupures entre interconnexions en cuivre, et les films à faible permittivité y sont particulièrement sensibles. On les prévient par la filtration, la recirculation et la maîtrise de la température de la suspension, le conditionnement du tampon et l'optimisation de la pression.
On les prévient par la filtration, la recirculation et la maîtrise de la température de la suspension, le conditionnement du tampon et l'optimisation de la pression.
Quelle est la principale cause des fines rayures (scratches…CMP Acide fluorhydrique dilué (DHF) Cérine (oxyde de cérium) Dishing Effondrement de motifs (pattern collapse) Érosion Loi de Preston Nettoyage mégasonique Nettoyage mono-plaquette Nettoyage RCA