CMP et nettoyage
Quel problème connu survient facilement lorsque le rinçage après un nettoyage SPM (acide sulfurique-peroxyde d'hydrogène) est insuffisant ?
- ADes ions sulfate, etc. restent en surface et causent ensuite un voile (haze) ou des défauts
- BLa plaquette s'épaissit
- CLa surface devient de type n
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Réponse : A. Des ions sulfate, etc. restent en surface et causent ensuite un voile (haze) ou des défauts
L'acide sulfurique, visqueux, s'adsorbe facilement en surface ; un rinçage insuffisant laisse des ions sulfate qui réagissent avec l'ammoniac de l'air et précipitent en microcristaux de sulfate d'ammonium, provoquant un voile (haze) ou des défauts. Sur les masques d'exposition, ce phénomène a aussi été à l'origine de défauts croissants (haze) réduisant la transmittance. On effectue donc un rinçage suffisant à l'eau chaude ou l'on remplace le nettoyage par des procédés sans acide sulfurique.