Was ist SPM (Schwefelsäure-Peroxid-Gemisch)?
Gemisch aus Schwefelsäure und Wasserstoffperoxid. Seine starke Oxidationskraft entfernt organische Stoffe wie Resist.
Japanische Bezeichnung: SPM(硫酸過水)
Fachgebiet: CMP und Reinigung
Verwandte Begriffe
Ceroxid (Ceria) CMP (chemisch-mechanisches Polieren) Dishing (Muldenbildung) Einzelwaferreinigung Erosion Megasonic-Reinigung Natives Oxid Pad-Konditionierung Prestonsche Gleichung RCA-Reinigung