Traitement thermique qui chauffe les plaquettes une par une, par exemple avec des lampes, à haute température pendant quelques secondes. Permet le recuit ou la formation d'oxydes minces tout en limitant la diffusion excessive des dopants.
Nom japonais: RTP(急速熱処理)
« RTP (recuit thermique rapide) » apparaît dans 2 questions d'entraînement réparties sur 1 thèmes, dont Oxydation et diffusion.
Domaine: Oxydation et diffusion
Réponse : A. Un four de traitement thermique vertical (four de diffusion)
L’oxydation thermique, la diffusion et le recuit utilisent souvent un four de traitement thermique vertical, qui chauffe environ 100 plaquettes empilées verticalement dans un tube réacteur en quartz. La température dans le tube est uniforme, un seul traitement traite de nombreuses plaquettes, et le chargement par le bas limite l’entraînement d’air ambiant. Les fabricants représentatifs sont Tokyo Electron, Kokusai Electric, etc. Pour des traitements thermiques brefs de quelques secondes, on utilise des équipements RTP qui chauffent les plaquettes une par une par lampes.
Réponse : B. RTP (traitement thermique rapide)
Le RTP chauffe et refroidit la plaquette avec des lampes halogènes, etc., à des vitesses de quelques dizaines à quelques centaines de ℃ par seconde, et ne l’expose que quelques secondes à plus de 1000 ℃. La brièveté du séjour à haute température permet d’effectuer le recuit d’activation après implantation ou de former des oxydes minces tout en limitant la diffusion des dopants. Le recuit par lampe flash et le recuit laser, qui ramènent la durée de chauffe à la milliseconde ou moins, servent aussi à former les jonctions peu profondes avancées.
Pour des traitements thermiques brefs de quelques secondes, on utilise des équipements RTP qui chauffent les plaquettes une par une par lampes.
Quel équipement est généralement utilisé pour oxyder thermi…Le RTP chauffe et refroidit la plaquette avec des lampes halogènes, etc., à des vitesses de quelques dizaines à quelques centaines de ℃ par seconde, et ne l’expose que quelques secondes à plus de 1000 ℃.
Comment s’appelle le traitement thermique qui chauffe les p…Recuit Oxydation thermique Recuit laser Bec d'oiseau (bird's beak) Diffusion accélérée par oxydation (OED) Diffusion thermique États d'interface Ions mobiles LOCOS Modèle de Deal-Grove