Qu'est-ce que Bec d'oiseau (bird's beak) ?

Phénomène en LOCOS où l'oxyde pénètre sous le bord du masque de nitrure en forme de bec d'oiseau. Comme il réduit la surface utile des composants, le LOCOS a été remplacé par la STI avec la miniaturisation.

Nom japonais: バーズビーク

Domaine: Oxydation et diffusion

Termes associés

Diffusion accélérée par oxydation (OED) Diffusion thermique États d'interface Ions mobiles LOCOS Modèle de Deal-Grove Oxydation humide Oxydation sèche Oxydation thermique Oxynitrure (SiON)

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