Qu'est-ce que Bec d'oiseau (bird's beak) ?
Phénomène en LOCOS où l'oxyde pénètre sous le bord du masque de nitrure en forme de bec d'oiseau. Comme il réduit la surface utile des composants, le LOCOS a été remplacé par la STI avec la miniaturisation.
Nom japonais: バーズビーク
Domaine: Oxydation et diffusion