Quel équipement est généralement utilisé pour oxyder thermiquement de nombreuses plaquettes à la fois ?

Réponse : A. Un four de traitement thermique vertical (four de diffusion)

L’oxydation thermique, la diffusion et le recuit utilisent souvent un four de traitement thermique vertical, qui chauffe environ 100 plaquettes empilées verticalement dans un tube réacteur en quartz. La température dans le tube est uniforme, un seul traitement traite de nombreuses plaquettes, et le chargement par le bas limite l’entraînement d’air ambiant. Les fabricants représentatifs sont Tokyo Electron, Kokusai Electric, etc. Pour des traitements thermiques brefs de quelques secondes, on utilise des équipements RTP qui chauffent les plaquettes une par une par lampes.