Comment s’appelle le traitement thermique qui chauffe les plaquettes une par une à haute température, par exemple avec des lampes, pendant quelques secondes seulement ?

Réponse : B. RTP (traitement thermique rapide)

Le RTP chauffe et refroidit la plaquette avec des lampes halogènes, etc., à des vitesses de quelques dizaines à quelques centaines de ℃ par seconde, et ne l’expose que quelques secondes à plus de 1000 ℃. La brièveté du séjour à haute température permet d’effectuer le recuit d’activation après implantation ou de former des oxydes minces tout en limitant la diffusion des dopants. Le recuit par lampe flash et le recuit laser, qui ramènent la durée de chauffe à la milliseconde ou moins, servent aussi à former les jonctions peu profondes avancées.