Was ist RTP (schnelle thermische Behandlung)?

Erhitzen einzelner Wafer für wenige Sekunden auf hohe Temperatur, meist mit Lampen. Es ermöglicht Ausheilen und Wachstum dünner Oxide bei begrenzter unerwünschter Dotierstoffdiffusion.

Japanische Bezeichnung: RTP(急速熱処理)

Fachgebiet: Oxidation und Diffusion

Verwandte Begriffe

Bewegliche Ionen Deal-Grove-Modell Drive-in (Eintreiben) Feuchte Oxidation Formiergas-Temperung (Forming Gas Anneal) Grenzflächenzustände LOCOS (lokale Oxidation) Oxidationsverstärkte Diffusion (OED) Oxinitrid (SiON) STI (Shallow-Trench-Isolation)

Zurück zum Glossar