Relation empirique selon laquelle la vitesse de polissage CMP est proportionnelle au produit de la pression de polissage par la vitesse relative entre tampon et plaquette.
Nom japonais: プレストンの式
« Loi de Preston » apparaît dans 1 questions d'entraînement réparties sur 1 thèmes, dont Métrologie et analyse.
Domaine: CMP et nettoyage
Réponse : B. Formule de Stoney
La formule de Stoney, σ=Es·hs²/(6(1−νs)hf)×(1/R−1/R0), donne la contrainte du film à partir du module d’Young Es, du coefficient de Poisson νs et de l’épaisseur hs du substrat, de l’épaisseur hf du film et de la variation de courbure de la plaquette avant et après dépôt. Elle a l’avantage de ne pas nécessiter les constantes élastiques du film ; on mesure la courbure par réflexion laser pour évaluer la contrainte. La loi de Black concerne l’électromigration, la loi de Preston la vitesse de polissage en CMP.
La loi de Black concerne l’électromigration, la loi de Preston la vitesse de polissage en CMP.
Quelle relation est utilisée pour déterminer la contrainte …Électromigration CMP Acide fluorhydrique dilué (DHF) Cérine (oxyde de cérium) Conditionnement du tampon (pad conditioning) Dishing Effondrement de motifs (pattern collapse) Érosion Nettoyage mégasonique Nettoyage mono-plaquette