Qu'est-ce que Effondrement de motifs (pattern collapse) ?

Défaut où, lors du nettoyage et du séchage de motifs fins à rapport d'aspect élevé, la tension superficielle du liquide resté entre les motifs les fait basculer ou se coller.

Nom japonais: パターン倒壊

Domaine: CMP et nettoyage

Termes associés

Acide fluorhydrique dilué (DHF) Cérine (oxyde de cérium) CMP Conditionnement du tampon (pad conditioning) Dishing Érosion Loi de Preston Nettoyage mégasonique Nettoyage mono-plaquette Nettoyage RCA

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