Méthode de nettoyage qui applique des ultrasons d'environ 1 MHz au liquide pour éliminer les particules à la surface de la plaquette.
Nom japonais: メガソニック洗浄
« Nettoyage mégasonique » apparaît dans 1 questions d'entraînement réparties sur 1 thèmes, dont CMP et nettoyage.
Domaine: CMP et nettoyage
Réponse : B. Nettoyage mégasonique
Le nettoyage mégasonique applique au liquide des ultrasons d'environ 1 MHz et détache les fines particules de la surface grâce à l'écoulement rapide du liquide (courant acoustique) et à une couche limite mince. Alors que les ultrasons de quelques dizaines de kHz brisent facilement les motifs fins par les chocs violents de l'implosion des bulles (cavitation), une fréquence élevée réduit ces chocs et élimine des particules de 0,1 µm et moins en limitant les dommages. Il est souvent associé au SC-1.
Le nettoyage mégasonique applique au liquide des ultrasons d'environ 1 MHz et détache les fines particules de la surface grâce à l'écoulement rapide du liquide (courant acoustique) et à une couche limite mince.
Quelle méthode de nettoyage applique des ultrasons de la ba…SC-1 (APM) Acide fluorhydrique dilué (DHF) Cérine (oxyde de cérium) CMP Conditionnement du tampon (pad conditioning) Dishing Effondrement de motifs (pattern collapse) Érosion Loi de Preston Nettoyage mono-plaquette