Qu'est-ce que Nettoyage mono-plaquette ?

Mode de nettoyage traitant les plaquettes une à une. Peu de contamination croisée et des conditions faciles à contrôler pour chaque plaquette. Le mode qui immerge de nombreuses plaquettes à la fois dans un bain est dit par lots (batch).

Nom japonais: 枚葉式洗浄