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Métrologie et analyse

Quelle relation est utilisée pour déterminer la contrainte d’un film à partir de la variation de courbure de la plaquette avant et après dépôt ?

  1. ALoi de Black
  2. BFormule de Stoney
  3. CLoi de Preston
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Réponse : B. Formule de Stoney

La formule de Stoney, σ=Es·hs²/(6(1−νs)hf)×(1/R−1/R0), donne la contrainte du film à partir du module d’Young Es, du coefficient de Poisson νs et de l’épaisseur hs du substrat, de l’épaisseur hf du film et de la variation de courbure de la plaquette avant et après dépôt. Elle a l’avantage de ne pas nécessiter les constantes élastiques du film ; on mesure la courbure par réflexion laser pour évaluer la contrainte. La loi de Black concerne l’électromigration, la loi de Preston la vitesse de polissage en CMP.

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