Quelle est la principale cause des fines rayures (scratches) produites à la surface des plaquettes en CMP ?

Réponse : C. Les grosses particules agglomérées dans la suspension ou les corps étrangers restés sur le tampon

Lorsque les particules abrasives de la suspension s'agglomèrent en amas de quelques µm sous l'effet du séchage ou de variations de température ou de pH, ou que des corps étrangers durs ou des éclats de diamant du conditionneur restent sur le tampon, ils rayent la surface de la plaquette. Ces rayures provoquent des courts-circuits ou des coupures entre interconnexions en cuivre, et les films à faible permittivité y sont particulièrement sensibles. On les prévient par la filtration, la recirculation et la maîtrise de la température de la suspension, le conditionnement du tampon et l'optimisation de la pression.