Was ist Pad-Konditionierung?
Abtragen der Oberfläche eines CMP-Polierpads mit einem Diamantwerkzeug, um Textur und Slurry-Haltefähigkeit wiederherzustellen und die Abtragsrate zu stabilisieren. Auch Dressing genannt.
Japanische Bezeichnung: パッドコンディショニング
Fachgebiet: CMP und Reinigung