Wat is Padconditionering?

Werkzaamheid waarbij het oppervlak van het CMP-polijstpad met een diamanten gereedschap wordt opgeruwd om de toestand te herstellen waarin het pad slurry vasthoudt, zodat de polijstsnelheid stabiel blijft. Ook dressing genoemd.

Japanse benaming: パッドコンディショニング

Vakgebied: CMP en reiniging

Verwante termen

Ceria (ceriumoxide) CMP Dishing Erosie (erosion) Megasonisch reinigen Natuurlijk oxide (native oxide) Patroonineenstorting (pattern collapse) RCA-reiniging SC-1 (APM) SC-2 (HPM)

Naar de woordenlijst