Wat is Megasonisch reinigen?
Reinigingsmethode waarbij ultrageluid van ongeveer 1 MHz op de reinigingsvloeistof wordt toegepast om deeltjes van het waferoppervlak te verwijderen.
Japanse benaming: メガソニック洗浄
Vakgebied: CMP en reiniging
Verwante termen
Ceria (ceriumoxide) CMP Dishing Erosie (erosion) Natuurlijk oxide (native oxide) Padconditionering Patroonineenstorting (pattern collapse) RCA-reiniging SC-1 (APM) SC-2 (HPM)