メガソニック洗浄란?
めがそにっくせんじょう
約1 MHzの超音波を洗浄液に加えて、ウエハ表面の微粒子を取り除く洗浄方法。
일본어 명칭: メガソニック洗浄
분야: CMP와 세정
관련 용어
枚葉式洗浄 自然酸化膜 希フッ酸(DHF) CMP RCA洗浄 SC-1(APM) SC-2(HPM) SPM(硫酸過水) エロージョン スラリー
めがそにっくせんじょう
約1 MHzの超音波を洗浄液に加えて、ウエハ表面の微粒子を取り除く洗浄方法。
일본어 명칭: メガソニック洗浄
분야: CMP와 세정
枚葉式洗浄 自然酸化膜 希フッ酸(DHF) CMP RCA洗浄 SC-1(APM) SC-2(HPM) SPM(硫酸過水) エロージョン スラリー