Was ist Megasonic-Reinigung?
Ein Reinigungsverfahren, das Ultraschall von etwa 1 MHz auf die Reinigungslösung anwendet, um feine Partikel von Waferoberflächen zu entfernen.
Japanische Bezeichnung: メガソニック洗浄
Fachgebiet: CMP und Reinigung
Verwandte Begriffe
Ceroxid (Ceria) CMP (chemisch-mechanisches Polieren) Dishing (Muldenbildung) Einzelwaferreinigung Erosion Natives Oxid Pad-Konditionierung Prestonsche Gleichung RCA-Reinigung SC-1 (APM)